压差检测
洁净室压差的检测应该在所有门窗都关闭的条件下进行，由高压向低压、由面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。
具体要求包括：静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。
在洁净面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线行。
所测量记录的数据应到 1.0pa。
具体检测步骤为：先关闭所有的门。
用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
记录所有数据。
用风罩法测量风量
用风量罩测定各风口风速时，其相应的出风风速为vs=as。vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s；qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s；as------送风口出风面积m2。
单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面，水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面，截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个，均匀布置仪器用热球风速仪。
测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量，洁净车间环境检测，测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。
对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形边长，不大于200mm测点，设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。
对于圆形风管，应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普---风空调风管法测量风量的方法进行。
单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀
1、仪器设备及环境仪器设备热球风速仪。环境温度常温或设计温度下。
2、抽样对于单向流洁净室截面平均风速都要测试。
洁净度高于5级的单向流洁净室截面风速不均匀度都要求检测，洁净度等级为5级的单向流洁净室在设计有要求时检测。
3、技术条件（1）实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%。（2）风速不均匀度按下式计算结果应不大于0.25v1β。
4、操作过程及判定（1）测定截面、测点数和测定仪器应符合风量或风速的测试中单向流层流洁净室的规定。（2）测定风速宜用测定架固定风速仪，以避免人体干扰不得不手持风速仪。测定时，手臂应伸直至长位置使人体远离测头。
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