室内噪声
1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。
2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。
3、技术要求
室内噪声级应符合<洁净厂房设计规范>gb50073-2001的规定。
在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dba；单向流、混合流洁净室不应大于65dba；洁净室的噪声频谱---各频带的声压级值不应大于<洁净厂房设计规范>gb50073-2001表4.4.2的规定。
4、操作过程及判定
（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测a声级的数值。---时测倍频程声压级。
（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。
（3）执行标准的编号及标准实施日期。
（4）被测试的洁净室或洁净区的地址
在洁净厂房设计规范中gb50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义:
1.空态 as-built洁净室测试:设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
2.静态 at-rest:设施已经建成，生产设备已经安装，生物安全柜检验，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
3.动态 operational:设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在iso14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:
1.空态洁净室的检测--installation qualificafion(iq)
2.静态洁净室的检测--operational qualificafion(oq)
3.动态洁净室的检测--performance qualificafion(pq)
空气洁净度等级
1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。
2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次采样量；b.每个洁净区采样次数为3次，当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次；d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用iso14644-1附录f规定的顺序采样法。
3、技术要求每个采样点的平均粒子浓度ci应小于或等于洁净度等级规定的限值；全部采样点的平均粒子浓度n的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。
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