洁净室检测的工艺流程
凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前,必须对系统、洁净室、机房等处进行清扫;在清扫和系统调整后,必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。
(一)洁净室测定的程序大致如下:
1、风机空吹
2、室内清扫
3、调整风量
4、安中效过滤器
5、安过滤器
6、系统运行
7、过滤器检漏
8、调整风量
9、调整室内静压差
10、调整温湿度
11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定
12、室内洁净度测定
13、室内浮游菌和沉降菌的测定
14、和生产设备有关的工作和调整
洁净车间洁净度的验收标准
洁净度的验收标准分两点:1.每点的微粒测量平均值应低于规定值;2.分析值应小于规定值。
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