空气洁净度等级
1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。
2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次采样量;b.每个洁净区采样次数为3次,当洁净区仅有一个采样点时,则在该点至少采样3次;d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用iso14644-1附录f规定的顺序采样法。
3、技术要求每个采样点的平均粒子浓度ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;全部采样点的平均粒子浓度n的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。
空气洁净度等级
4、操作过程及判定仪器开机后预热至稳定后,方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正,自检、自校、零计数;采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数;计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差;对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度;记录数据评价。
5、洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态;对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始;必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定;每个采样点可按所计算确定的采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于采样量。测定时,进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室,车间洁净环境检测,在室内尽量处于下风处并静止少动。
室内静压差的测试
1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。
2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。
3、静压差检测结果应符合下列规定。
(1)相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5pa。
(2)洁净室与室外静压差应大于10pa。
(3)洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。
4、操作过程及判定
(1)将所有的门关闭,将测定用胶管口径在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处,垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动小。
(2)静压差的测定应从平面上里面的房间,通常也就是洁净度级别高的房间,与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定,直至测得靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。
(3)对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室,还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
5、检测时的注意事项
在进行洁净室静压差检测之前,必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时,应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。若达不到标准的要求应重新调整新风量、排风量直至合格为止。
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