在洁净厂房设计规范中gb50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义:
1.空态 as-built洁净室测试:设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
2.静态 at-rest:设施已经建成，生产设备已经安装，超净工作台检测标准，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
3.动态 operational:设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在iso14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:
1.空态洁净室的检测--installation qualificafion(iq)
2.静态洁净室的检测--operational qualificafion(oq)
3.动态洁净室的检测--performance qualificafion(pq)
洁净室制造竣工验收的调试工作
1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。
属于机械设备的共性要求还应符合相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。
2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。
这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。
此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。
在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。
洁净室检测的工艺流程
凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前，必须对系统、洁净室、机房等处进行清扫；在清扫和系统调整后，必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。
（一）洁净室测定的程序大致如下：
1、风机空吹
2、室内清扫
3、调整风量
4、安中效过滤器
5、安过滤器
6、系统运行
7、过滤器检漏
8、调整风量
9、调整室内静压差
10、调整温湿度
11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定
12、室内洁净度测定
13、室内浮游菌和沉降菌的测定
14、和生产设备有关的工作和调整
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