检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计,洁净室换气次数,至少要检查下列各点:
1、洁净室设备的成套性;
2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;
3、公用和辅助设备功能运转是否正确;
4、所以控制系统,---,报警和警报器等的检定(检查)日期;
5、安装;
6、安装过滤器(终过滤器)的完整性;
7、电源和设备是否有备份,其中包括空气处理设备的风量余量;
8、压差;
9、气流特性(单向气流--流速,电子洁净室换气次数,均匀性和气流方向);
10、维护结构的密闭性;
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;
12、表面洁净度;
13、包装中是否有备件。
检查hepa(ulpa)过滤器的完整性具有重要意义,此项检查对iso6级、iso5级及更别的洁净室来说尤其---。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对iso1级~iso5级的洁净室---重要)。
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