5大行业对洁净室环境的要求
半导体、集成电路生产的洁净室要求
半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品的一个---问题。
集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有---的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于---规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
二、关于更衣区压差监测:
由于更衣的后段(穿洁净衣+气锁) 的洁净级别与生产区相一致,所以这两个区域必须监控其压差, 故压差计将设置在这两个房间与其他区域之间。 另外根据洁净与非洁净区压差必须大于10pa 的要求,该区域与其更衣前段区域的压差值应该大于 10pa。
三、关于退出通道设置:
洁净度要求高的100级无尘车间按 --- 第 32 条的规定, “---时,洁净室施工方案,可将进入和离开洁净区的更衣间分开设置” 。 退出通道的气流方向、洁净分区、压差控制等见典型更衣布置图。
关于退出通道设置:
洁净度要求高的100级无尘车间按 --- 第 32 条的规定, “---时,可将进入和离开洁净区的更衣间分开设置” 。 退出通道的气流方向、洁净分区、压差控制等见典型更衣布置图。
对洁净度要求搞的10无尘车间生产,辽宁洁净室施工,如高致敏性、高活性、高毒性、或 ld50 很小的制---,洁净室施工管理,如需要------暴露生产区的空气---,在更衣区域要设置退出通道并且通过负压阱,以阻隔生产区气流。
对于普通1000级无尘车间,洁净室施工要求,退出通道可类似梯度气锁设计。而对于洁净度产品,为了避免含产品空气通过梯度气锁向外扩散,应设置负压气锁,以将含产品空气---隔离。
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