湖南洁净室施工-世纪久海-洁净室施工规范

无尘室操作时的一般规定：

5.芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6.操作时，不论是否戴上手套，手能放进清洗水槽。

7.使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。

8.摆置芯片于石英舟时，洁净室施工规范，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

10.手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维---多必须换新。

11.非经指示，湖南洁净室施工，可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12.奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。

13.仪器因操作错误而有任何损坏时，务必---告知负责人员或老师。

14.芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，洁净室施工，一般纸张与铅笔不得携入。

组立壁板：按排版图装入预制好的组件，洁净室施工方案，组件间以固定插件锁定相邻壁板。值得---注意的是，在组立壁板的同时配合好电气暗敷管线及箱盒。壁板应垂直，立缝均匀。

   清理槽内杂物及粘结的胶液凝固硬块。否则用再大的力也很难将立缝调整的均匀、密实。

   装吊顶板：顶板的重量支撑是通过固定在周边的立板及中间悬吊的暗梁或t型铝。长边缝间通过固定插件固定和加固，短边通过t型铝和连板抽芯铆钉固定。

   吊平顶力求平整，板缝密实均匀、光洁、无痕、无伤。操作注意同立壁板。

安装门窗：先在门窗洞口装入不锈钢的门窗框固定牢靠，装门注意开启方向，装窗玻璃。闭门器应调节---启速度和力量，一般在关门时前半程速度快，后半程力矩小、速度慢，以减小关门撞击和噪音。