关于退出通道设置:
洁净度要求高的100级无尘车间按 --- 第 32 条的规定, “---时,可将进入和离开洁净区的更衣间分开设置” 。 退出通道的气流方向、洁净分区、压差控制等见典型更衣布置图。
对洁净度要求搞的10无尘车间生产,如高致敏性、高活性、高毒性、或 ld50 很小的制---,如需要------暴露生产区的空气---,在更衣区域要设置退出通道并且通过负压阱,以阻隔生产区气流。
对于普通1000级无尘车间,退出通道可类似梯度气锁设计。而对于洁净度产品,为了避免含产品空气通过梯度气锁向外扩散,应设置负压气锁,以将含产品空气---隔离。
随着洁净室的应用,洁净空调的使用已越来越广泛,洁净度的等级也在提高。不少洁净空调通过---设计、认真施工,洁净室施工规范,获得了成功,但也有的洁净空调系统设计施工完成后因达不到洁净度要求而降级使用,甚至报废改作一般空调。洁净空调系统的技术要求、施工要求高,投资大,一旦失败,无论从财力、物力、人力上讲都会造成浪费,洁净室施工要求,因此要搞好洁净空调系统,除的设计图纸以外,还要求高高水平的施工。
无尘室操作时的一般规定:
1.处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:
(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,百级洁净室施工,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
(2)芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中,盖起来存放于规定位置,尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请---注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮喷之。
4.从铁弗龙(teflon)晶舟,石英舟(quartzboat)等载具(carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,黄冈洁净室施工,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。
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