无尘室操作时的一般规定:
1.处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:
(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
(2)芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中,洁净室施工及验收规范,盖起来存放于规定位置,洁净室施工流程,尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请---注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,洁净室施工管理,用氮喷之。
4.从铁弗龙(teflon)晶舟,石英舟(quartzboat)等载具(carrier)上,取出芯片时,黄冈洁净室施工,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。
地面系统:一般采用环氧树脂洁净地面。 围护结构系统:简单说是顶、墙、地三部分,即组成三维密闭空间的六个面。往细的说包括门窗、装饰圆弧等;
空气过滤系统:初中过滤器等其他净化设备:如臭氧、紫外线灯、风淋(包括货淋)、传递窗、超净工作台,互联锁等净化辅助设备。
净化车间工程可分为空气净化与水净化,空气净化是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、---等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所---设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
进行空间设计时,应仔细考虑生产洁净区与相关的辅助生产区之间的关系,必须使空间布置做到有效、灵活,对于一般的洁净室在吊顶上部或楼面下布置送风、回风和排风管道以及各种水、气、电管线等,需要设置---的空间于垂直单向流为主的无尘车间,首先应在选择好气流流型、净化空调系统的形式和空调机、空气过滤器的前提下,合理、有效地布置洁净室的空间:在洁净室设计---是单向流洁净室设计中,气流流型、净化空调设备的选择和布置方案的选择是确定洁净室空间布置的主要因素;
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