鄂州洁净室设计-世纪久海-洁净室设计施工

把好风管制作关，才能---系统洁净度。

2.1 风管制作前的准备。

加工制作洁净系统的风管应在相对密封的室内进行。室内的墙壁宜光滑、不产尘、不积尘，地面可铺设加厚塑料地板，地板与墙体结合处宜用胶带封贴，避免灰尘产生。风管加工前，室内必须做到干净，无尘、无污染。可在打扫擦洗干净后用吸尘器反复清理。制作风管用工具必须用酒精或无腐蚀洗涤剂擦洗干净后进入制作室内。制作用设备不可能也不---进入制作室内，但必须保持干净，无灰尘。参加制作的工员宜相对固定，洁净室施工组织设计，人员进入制作场所必须配戴---无尘帽、手套、口罩，工作服应常换洗。制作用材料应经过二到三次酒精或无腐蚀清洁剂擦洗后，才能进入制作场所待用。

无尘室操作时的一般规定：

1.处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用：

（1）任何一支镊子前端（即挟持芯片端）如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

（2）芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。

（3）把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，洁净室设计施工，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。

2.芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。

3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请---注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，洁净室设计，用氮喷之。

4.从铁弗龙（teflon）晶舟，石英舟（quartzboat）等载具（carrier）上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。