无尘室操作时的一般规定:
5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。
6.操作时,不论是否戴上手套,手能放进清洗水槽。
7.使用化学站或烤箱处理芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。
8.摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。
9.请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,空气洁净度检测,必须重作清洗。
10.手套,手术室洁净度检测,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维---多必须换新。
11.非经指示,可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。
12.奇怪的味道或反应异常的溶液,颜色,声响等请即通知相关人员。
13.仪器因操作错误而有任何损坏时,务必---告知负责人员或老师。
14.芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。
15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,洁净度检测,一般纸张与铅笔不得携入。
二、关于更衣区压差监测:
由于更衣的后段(穿洁净衣+气锁) 的洁净级别与生产区相一致,所以这两个区域必须监控其压差, 故压差计将设置在这两个房间与其他区域之间。 另外根据洁净与非洁净区压差必须大于10pa 的要求,该区域与其更衣前段区域的压差值应该大于 10pa。
三、关于退出通道设置:
洁净度要求高的100级无尘车间按 --- 第 32 条的规定, “---时,可将进入和离开洁净区的更衣间分开设置” 。 退出通道的气流方向、洁净分区、压差控制等见典型更衣布置图。
大行业对洁净室环境的要求
工业洁净技术和生物洁净技术必将随着科学技术的发展和工业产品的日新月异而快速地发展,成为现代工业生产和科学实验活动不可缺少的重要技术标志之一。
目前,洁净技术已广泛应用于各行各业或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制、由于各行业间差距较大,洁净度 检测,且要求不同,因此控制环境的内容、指标均不相同。下面就来对常见的行业洁净技术的要求进行总结。
1、产品生产的洁净室要求
---是用于预防、---和恢复、调整机体功能的特殊商品,它的直接关系到人的健康和安危。如果一些---在制造过程中受到微生物、尘粒等污染或交叉污染,可能会产生预料不到的---和危害。
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