静态洁净室的检测(oq)
本阶段的检测至少应完成下列各项工作:
1、确认洁净区划分原则是否符合要求;
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;
3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;
4、按粒子数确定洁净度级别;
5、确定压差;
6、在---的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;
7、确定照度;
8、确定噪声级;
9、利用---的工具目视检查气流并检查换气次数(---时);
10、将取得数据结果写成书面文件。
<电子工业洁净厂房设计规范>、<洁净厂房设计规范>、<洁净室施工及验收规范>等相关---,要求电子工业洁净厂房应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求,---,应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造---的条件,它们对生产区的洁净环境和直接与产品生产过程接触的各类介质都有一定的要求。 检测项目:风量(换气次数)、风速、压差(静压差)、温度、相对湿度、照度、噪声、空气过滤器检漏、气流流型、悬浮粒子(空气洁净度等级)等。
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